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Home > ȸ»ç¼Ò°³ > Àλ縻 |
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´ç»ç´Â 1997³â 7¿ù ⸳ ´ç½Ã ÆÇ¸ÅÇÏ´ø È÷Ÿ¿ë Àü·ÂÁ¦¾îÀåÄ¡ÀÎ ÀϹÝÇüThyristor Regulator¸¦ CPU ÇÁ·Î±×·¥ ³»ÀåÇüÀ¸·Îupgrade ½ÃÄ×°í, 2003³â ÃÊ °³¹ßÇÑ ÃÖ÷´Ü Á¦Ç°ÀÎ Á¤Àü·ùÇü ¹× Á¤Àü¾ÐÇü°ú ÇÔ²² STRÀ̶ó´Â °íÀ¯ ºê·£µå·Î ÅëÇÕÇÏ¿´½À´Ï´Ù. 2000³â¿¡´Â ¸ðÅͱ⵿ÀåÄ¡ÀÎ Motor Soft Starter ½Å ¸ðµ¨À» °³¹ßÇÏ¿© SMC¶ó´Â ´ç»ç °íÀ¯ ºê·£µå·Î Ãâ½ÃÇÔÀ¸·Î½á, 2000³â¿¡ Ãâ½ÃÇϰí 2002³â¿¡ ƯÇ㸦 ÃëµæÇÑ SSC(Solid State Controller), ¿ª½Ã ´ç»ç ⸳ ÃʱâºÎÅÍ ÆÇ¸ÅÇÏ¿© ¿Â ¹éÇÊÅÍ¿ë Pulse Timer¿Í ÇÔ²² ÇöÀç µ¿Á¾¾÷°èÀÇ ¼±µÎÁÖÀڷμÀÇ À§Ä¡¸¦ È®°íÇÏ°Ô Áö۰í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ 2002³âºÎÅÍ´Â ½Ç¸®ÄÜ¿þÀÌÆÛ¿ë ´Ü°áÁ¤Ingot¼ºÀå Àåºñ¿ë¹× Plasma Ion Plating¿ë ÷´Ü power Supply ¸¦ °ø±ÞÇϰí ÀÖÀ¸¸ç, |
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À̵é Á¦Ç°ÀÇ ²ÙÁØÇÑ ¸ÅÃâ ½ÅÀå¿¡ ÈûÀÔ¾î ´ç»ç´Â 2004³âºÎÅÍ »ç¼¼È®ÀåÀ» ÃßÁøÇϰí ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿ì¼± ÃÖ±Ù ¸î ³â ÀüºÎÅÍ ±¹³» ¿ì¼ö´ëÇÐ À̰ø°è Ãâ½Å ¿£Áö´Ï¾î¸¦ ´ë°Å ä¿ë, ¹Ì·¡¿¡ ´ç»ç¸¦ À̲ø¾î °¥ ÇÙ½ÉÀÎÀç ¾ç¼º°èȹÀ» º»°Ý ½ÇÇà¿¡ ¿Å±â°í ÀÖÀ¸¸ç, 2004³â ÇϹݱ⿡´Â ºÎ»êÁö»ç¸¦ °³¼³ÇÏ¿© ºÎ»ê.´ë±¸. °æ³².ºÏ Áö¿ªÀÇ °í°´À» Áö¿øÇϵµ·Ï Á¶Ä¡ÇÏ¿´À¸¸ç, Áß±¹ »êµ¿¼º ûµµ½Ã¿¡ ´ç»ç ´Üµ¶ÅõÀÚ ±â¾÷ÀÎ µÎ¼º±âÀüÀ¯ÇѰø»ç¸¦ ¼³¸³ÇÔ°ú µ¿½Ã¿¡ Áß±¹ »óÇÏÀÌ¿¡ ´ç»çÁ¦Ç° ÆÇ¸Å´ë¸®Á¡À» °³¼³ ÇÏ´Âµî »ý»ê, ¾ÖÇÁÅͼºñ½º ¹× ¿µ¾÷ ³×Æ®¿öÅ© ±â¹Ý ±¸Ãà¿¡ Âø¼öÇÔÀ¸·Î½á ±Û·Î¹ú °æ¿µÀÇ ±âƲÀ» ´ÙÁ® ³ª°¡°í ÀÖÀ¸¸ç 2007³â 3¿ù ÀÚȸ»ç ¢ß¾Ë¸ß½º¸¦ ¼³¸³, °æ±âµµ ¿¬Ãµ±º ¿Õ¡¸é¿¡ ´ë´ÜÀ§ °øÀ带 °Ç¼³Çϰí 2008³âºÎÅÍ Ingot¿ø·áÀÎ Æú¸®½Ç¸®ÄÜ Á¦Á¶ÀåºñÀÎ CVD Reactor¿ë Power Supply¸¦ °³¹ß.°ø±ÞÇÔÀ¸·Î½á °íµµ¼ºÀåÀ» À§ÇÑ ¹ßÆÇÀ» ¸¶·ÃÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
´ç»ç´Â Áö±Ý±îÁö ÃßÁøÇÏ¿© ¿Â Á¦Ç°ÀÇ ´Ù¾çÈ.ÀÎÀçÀ°¼º°èȹ.±¹³»¿Ü¿¡ ±¸ÃàÇÑ ±Û·Î¹ú³×Æ®¿öÅ©ÀÇ ±â¹Ý À§¿¡¼ ²÷ÀÓ¾ø´Â ±â¼úÇõ½Å°ú ½ÅÁ¦Ç° °³¹ß·Î º»°ÝÀûÀÎ °íµµ¼ºÀå Áغñ¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡Çϰí ÀÖÀ¸¸ç »õ·Î¿î °¢¿À¸¦ °¡Áö°í ´Ù¾çÇÑ °í°´ÀÇ ¿ä±¸¿Í º¯È¸¦ °æÃ»ÇÔÀ¸·Î½á °í°´ ¿©·¯ºÐµéÀÇ ¿ä±¸¿¡ ½Å¼ÓÇϰè È´äÇϰí ÃÖ°íÀÇ ±â¼ú.ÃÖ»óÀÇ Ç°Áú,½Å¼Ó Á¤È®ÇÑ ¼ºñ½º·Î ¿©·¯ºÐÀ» Á¤¼º²¯ ¸ð½Ã°Ú½À´Ï´Ù. ±× µ¿¾È »õ·Î¿îÀüÀڢ߸¦ ¾Æ²¸ÁÖ½Ã°í ¼º¿øÇØ ÁֽŠ°í°´¿©·¯ºÐ°ú Çù·Â¾÷ü ¿©·¯ºÐµé²² °¨»çÀÇ ¸»¾¸À» µå¸®¸ç, ÇâÈÄ ³¯·Î ¹ßÀüÇØ °¡´Â »õ·Î¿îÀüÀÚ¢ß¿Í ¢ß¾Ë¸ß½ºÀÇ ¸ð½ÀÀ» ÁöÄÑ ºÁ ÁÖ½Ã°í µû¶æÇÑ °Ý·Á¿Í Ãæ°í ºÎŹ µå¸³´Ï´Ù.
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°¨»çÇÕ´Ï´Ù. |
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